プロキシミティプローブは、投与量の精度が小さなバスの変動に依存する場合に使用されます。
帯電の変動を大きくするために、融合室ではサブマージドプローブを使用しています。
浸漬型プローブと近接型プローブによるモニタリング 1 電子制御システム シンプルなプロセスサイクルのための低コストシステム
Alt.ソリューション浸漬型プローブと近接型プローブによるモニタリング 2つの電子制御システムにより、独立したプロセスサイクルでの柔軟な測定が可能。